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高壓大電流測試探針測試臺參數(shù)規(guī)格

重量:

         CL-4 50KG左右（帶顯微鏡）

         CL-6 60KG左右（帶顯微鏡）

         CL-8 80KG左右（帶顯微鏡）

尺寸：

         CL-4約 560mm寬*610mm長*550mm高（帶顯微鏡）  

         CL-6 約600mm長*650mm寬*600mm高（帶顯微鏡）

         CL-8 約640mm長*720mm寬*620mm高（帶顯微鏡）

CL系列探針座臺面規(guī)格

探針臺臺面平整度：5μm。

  CL-4臺面可以同時容納8-10個探針座

    CL-6，CL-8分別可以同時容納10-12個探針座

    CL-12臺面可以同時容納12個以上探針座

卡盤（載物臺）規(guī)格  （可選配鍍金卡盤，高溫加熱卡盤）

卡盤尺寸分為4" ，6"，8"三種

卡盤平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，帶真空吸附孔，中心孔徑*小可做到250微米（可根據(jù)客戶需求定制孔徑大小），*小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，能夠吸住尺寸為4"X4"（6"X6"，8"X8"）。

高壓大電流測試探針測試臺簡介：

激光修復(fù)儀類型：32寸半自動、32寸手動、70寸半自動、70寸手動激光修復(fù)儀。

CINDBEST探針臺類型：普通晶圓測試探針臺、太陽能電池測試探針臺、積分球探針臺、IGBT高壓大電流探針臺、磁場探針臺、高低溫探針臺、氣敏分析探針臺、低溫真空探針臺、手套箱內(nèi)探針臺。

探針臺配件：金相顯微鏡、三豐顯微鏡、體式顯微鏡、樣品加熱變溫臺、防震桌、屏蔽箱、三軸調(diào)節(jié)探針座、RF四維探針座、高頻探針夾具、管狀同軸夾具、管狀三軸夾具、彈簧同軸夾具、彈簧三軸夾具、鎢探針（硬探針、軟探針）、GGB高頻探針等各類探針臺配件。

CL系列 分為CL-4，CL-6，CL-8三個規(guī)格

CL系列探針臺測量精度高，操作方便，符合人機(jī)工程學(xué)。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)。