產(chǎn)品簡(jiǎn)介
CL系列 分為CL-4，CL-6，CL-8三個(gè)規(guī)格
CL系列探針臺(tái)測(cè)量精度高，操作方便，符合人機(jī)工程學(xué)。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)。
參數(shù)規(guī)格
CL系列總體規(guī)格特點(diǎn)
● 重量:
CL-4 50KG左右（帶顯微鏡）
CL-6 60KG左右（帶顯微鏡）
CL-8 80KG左右（帶顯微鏡）
● 尺寸：
CL-4約 560mm寬*610mm長(zhǎng)*550mm高（帶顯微鏡）
CL-6 約600mm長(zhǎng)*650mm寬*600mm高（帶顯微鏡）
CL-8 約640mm長(zhǎng)*720mm寬*620mm高（帶顯微鏡）
CL系列探針座臺(tái)面規(guī)格
● 探針臺(tái)臺(tái)面平整度：5μm。
● CL-4臺(tái)面可以同時(shí)容納8-10個(gè)探針座
CL-6，CL-8分別可以同時(shí)容納10-12個(gè)探針座
CL-12臺(tái)面可以同時(shí)容納12個(gè)以上探針座
卡盤（載物臺(tái)）規(guī)格 （可選配鍍金卡盤，高溫加熱卡盤）
● 卡盤尺寸分為4" ，6"，8"三種
卡盤平整度：5μm，采用空吸附方式吸附，帶空吸附孔，中心孔徑小可做到250微米（可根據(jù)客戶需求定制孔徑大?。】梢晕〕叽鐬?.3mmX0.3mm，大能夠吸住尺寸為4"X4"（6"X6"，8"X8"）。
● 卡盤可30度旋轉(zhuǎn)，方便點(diǎn)測(cè)時(shí)樣品在X-Y軸方向上調(diào)平。（根據(jù)客戶需要可定制為360度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào)，微調(diào)精度為0.1度，帶角度鎖定旋鈕）。
● 卡盤X，Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍為4"X4"（6"X6"，8"X8"），移動(dòng)精度為20um，配合針座的移動(dòng)可以保證wafer上的die都能夠準(zhǔn)確點(diǎn)測(cè)到。
2、儀器各部件名稱：
（傾仰夾頭） →
（面的夾頭按需要可上下調(diào)節(jié)）
（將此滑套往后推，用鑷子夾住探針推入夾針孔內(nèi)） → 
(將鎖緊螺母擰松，將夾具桿推入合適的位置)
CL-6探針測(cè)試臺(tái)配件
1、高倍率金相顯微鏡（選配）
PSM-1000 工業(yè)顯微鏡 采用全新的體化設(shè)計(jì)，具有優(yōu)異的光學(xué)成像質(zhì)量，造型新穎，使用方便，并具有豐富的擴(kuò)展功能，可以廣泛應(yīng)用于冶金、半導(dǎo)體、電子等行業(yè)的制造和研究域。 |
人機(jī)工程頭部 PSM-1000E雙目觀察頭可以在3-30 轉(zhuǎn)動(dòng)，調(diào)整觀察眼點(diǎn)的高度和觀察方向，使操作者的使用更加舒適。  | 管鏡 PSM-1000 的管鏡轉(zhuǎn)盤上裝有1X NUV 、1X NIR 和2X 管鏡，三組管鏡之間可以根據(jù)需要進(jìn)行切換，切換簡(jiǎn)單、方便。其中1X NUV 對(duì)355nm 和532nm 波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化，1X NIR 對(duì)532nm 和1064nm 波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化，當(dāng)使用這3 個(gè)波長(zhǎng)的激光器時(shí)，可以得到更好的激光透過率。  |
光路切換拉桿 通過推拉光路轉(zhuǎn)換拉桿可以方便的對(duì)光路進(jìn)行切換。當(dāng)轉(zhuǎn)換拉桿往外拉時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為0： 100 ，此時(shí)從攝像接口上入射的激光*** 的進(jìn)入光路，提高了激光效率；當(dāng)轉(zhuǎn)換器拉桿往里推時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為50：50 ，此時(shí)即可用雙目頭觀察，同時(shí)也可以在攝像接口上使用CCD 攝像頭或激光器。
 | 偏光觀察 主體上留有偏光插孔，插上偏光附件(選配件)，可進(jìn)行偏光觀察。  |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) PSM-1000 的調(diào)焦機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)舒適，工作可靠。調(diào)焦機(jī)構(gòu)大可承載45 磅(20.4Kg) ，確保安裝激光器和CCD 攝像頭后，仍然能夠正常工作。
 | 轉(zhuǎn)換器 PSM-1000 采用4孔可調(diào)中轉(zhuǎn)換器，使用隨機(jī)配送的調(diào)中鑰匙，可以很方便地調(diào)整物鏡的齊中。  |
物鏡 PSM-1000 采用長(zhǎng)工作距離的無(wú)應(yīng)力平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡，提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量。關(guān)于物鏡的具體參數(shù)請(qǐng)參照APO 物鏡樣本。
 | 照明系統(tǒng) 采用同軸垂直照明系統(tǒng)，光源采用外置冷光源。長(zhǎng)達(dá)2m 的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000 帶來更自由的操作空間。  |
激光裝置 PSM-1000 的攝像接口處裝有激光安全定位銷，雙目頭留有安裝激光安全濾色片的位置，并提供補(bǔ)償墊片。無(wú)需用的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上。 注: 在安裝和使用激光器之，請(qǐng)您仔細(xì)閱讀激光器和激光安全濾色片的使用手冊(cè)。 
|
2、體式顯微鏡 （可選配高倍率晶相顯微鏡）
產(chǎn)品參數(shù)和特點(diǎn)：
① 鑒別力高，視場(chǎng)范圍大，景深長(zhǎng)。
② 工作距離長(zhǎng)至115mm。
③ 左右目鏡屈光度可調(diào)正負(fù)5度，能滿足不同視力的操作者觀察。
④ 能隨意調(diào)節(jié)手輪的力矩，滿足不同操作者的使用習(xí)慣，更可以鎖定手輪，方便定倍觀察。
⑤ 本顯微鏡為連續(xù)變倍，變倍比為6.3：1 ，物鏡變倍范圍0.8X-5X。
⑥ 雙目觀察傾斜45度，雙瞳距調(diào)節(jié)范圍52-75mm.
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：
產(chǎn)品造型比較新穎。
機(jī)械特性優(yōu)越，操作舒適度高。
光學(xué)系統(tǒng)鑒別力達(dá)300線對(duì)以上，符合際標(biāo)準(zhǔn)。
超長(zhǎng)的工作距離位于內(nèi)同行之。
獨(dú)有的3A設(shè)計(jì)。
創(chuàng)見性人機(jī)學(xué)設(shè)計(jì)，產(chǎn)品細(xì)節(jié)考慮全面。
3A特性：
密封性－－－－－－-防塵,防油防水污染
此種接口密封性設(shè)計(jì)能安全防塵防油防水或其它污染－－－－-這就減少了常規(guī)的維護(hù),從而降低了總的費(fèi)用.
防霉性－－－－－－使其同樣適用于悶熱或潮濕的環(huán)境
此獨(dú)有的設(shè)計(jì)保證了顯微鏡在高溫或是潮濕下都能安然無(wú)恙
防靜電－－－－－－防靜電設(shè)計(jì)可以釋放顯微鏡內(nèi)不斷產(chǎn)生的靜電,防止標(biāo)本被損壞,保證提高產(chǎn)量和降低產(chǎn)品成本
應(yīng)用域：
教學(xué)示范，生物工程,IT產(chǎn)業(yè)檢測(cè)，材料分析等域。
3、針座和探針夾具（可選）
針座規(guī)格 | BT-200型 | BT-100型 | BT-40-T型 | BT-40型 |
尺寸 | 90mmW x 130mmD x 90mmH | 90mmW x 130mmD x 90mmH | 52mmW x 96mmD x 76mmH | 38mmW x 62mmD x 45mmH |
重量 | 1000 克 | 600 克 | 300克 | 200 克 |
精度 | 0.35 Micron | 0.7 Micron | 2 Micron | 10 Micron |
牙具 | 200牙/寸 | 牙具 100牙/寸 | 40牙/寸 | 40牙/寸 |
X-Y-Z線性行程 | 12mmX12mmX12mm | 12mmX12mmX12mm | 12mmX12mmX12mm | 12mmX12mmX12mm |
4、JVC模擬CCD
特點(diǎn)
l 1/3寸CCD,44萬(wàn)像素
l 535電視線的水平分辨率
l 0.7Lux的低照度（F1.2，25%，AGC開啟）
l 50dB的高信噪比（AGC OFF）
l 內(nèi)置10bit 數(shù)字圖像處理器
Winfast XP100視頻采集卡
特性
l 可選擇的影像來源信號(hào)
可以提供不同的輸入端子，使其能夠連接不同的影像
輸出設(shè)備，如錄放影機(jī)、***庭攝影機(jī)、雷射光碟機(jī)、
影音光碟機(jī)及CCD攝影機(jī)，提供全方位的解決方案。
l 可編輯剪接影像片段
可以從輸入的影像來源做即時(shí)的動(dòng)態(tài)捕捉或靜態(tài)補(bǔ)捉，并存成電腦可以接受并編輯的AVI電影檔或般的圖形檔，再透過類似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相關(guān)應(yīng)用軟體，便可加入各種***與剪接編輯
5、電信測(cè)試系統(tǒng)
Triaxial線纜
臺(tái)灣BEST探針夾具
管狀?yuàn)A具
彈簧夾具
螺旋夾具
Triaxial 轉(zhuǎn)接頭
6、探針
美GGB
型號(hào) | 針尖直徑 | 針桿直徑 | 針長(zhǎng) | 材質(zhì) | 根/盒 |
軟針類:適用于集成電路內(nèi)部線路點(diǎn)針 
|
T-4-5 | 0.2 微米 | 0.51mm | 51mm | 硬鎢材質(zhì) | 5 |
0.2微米直徑的針須焊接于鎳質(zhì)針桿上 | |
T-4-10 | 0.7 微米 | 0.51mm | 51mm | 硬鎢材質(zhì) | 5 |
0.7 微米針須焊接于鎳質(zhì)針桿上 | |
硬針類:適用于集成電路電點(diǎn)針 
|
ST-20-0.5 | 1 微米 | 0.51mm | 38mm | 硬鎢材質(zhì) | 10 |
ST-20-1.0 | 2 微米 | 0.51mm | 38mm | 硬鎢材質(zhì) | 10 |
ST-20-2.0 | 5 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬鎢/鈹銅材質(zhì) | 10 |
ST-20-5.0 | 10 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬鎢/鈹銅材質(zhì) | 10 |
ST-20-10 | 20 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬鎢/鈹銅材質(zhì) | 10 |
7、空泵
日東工器VP0125
規(guī)格：
l 電壓：AC220V
l 流量：7L/min
l 空度：-60KPa
l 質(zhì)量：0.7Kg
功能
l 提供空動(dòng)力源。
l 配合 CHUCK上的空吸附孔來固定樣品。
l 配合空吸附型探針座，固定探針座。
特點(diǎn)
● 無(wú)油靜音，特別適合實(shí)驗(yàn)室和潔凈室使用。
● 7升/分鐘，可24小時(shí)無(wú)間斷運(yùn)轉(zhuǎn)。
8、防震桌
特點(diǎn)：隔振支撐采用超薄復(fù)合材料氣囊、自定心準(zhǔn)無(wú)摩擦球頭擺桿和帶附加擴(kuò)散口的多小孔準(zhǔn)層流阻尼技術(shù)，隔振性能良好。自動(dòng)水平，自動(dòng)充氣，全部氣動(dòng)執(zhí)行元件采用德FEST0產(chǎn)品，靜音空氣壓縮機(jī)氣源、噪聲低。
應(yīng)用范圍：適用于對(duì)振動(dòng)要求高的場(chǎng)所。 如光電測(cè)量、全息成像、光柵制作等。輕松 調(diào)節(jié),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠。
技術(shù)參數(shù)：
臺(tái)面為三層夾心蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu)，采用ICR17優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼
平臺(tái)表面粗糙度0.5?0.6 um
平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2
固有頻率1.5 ~2 Hz
振幅小于1 um
重復(fù)定位精度±0.10 mm
工作壓力0.2~0.6(Mpa)
尺寸可根據(jù)客戶需求定制
9、屏蔽箱
CINDBEST CB-6（選配）
參數(shù)和特點(diǎn)
● 尺寸：880mm寬x710mm長(zhǎng)x1140mm高
● 屏蔽光線和電磁干擾。
● 匹配探針臺(tái)和防震桌設(shè)計(jì)。
● 可根據(jù)客戶定制。
● 與探針夾具配合可將測(cè)試電信號(hào)的漏電精度達(dá)到100fa ，可抗2000V高壓。
● 屏蔽箱上配備轉(zhuǎn)接頭，便于在關(guān)閉屏蔽箱時(shí)線路在箱內(nèi)外的良好連接。
10、品牌型號(hào)：CINDBEST HT-400-4
3.1 4英寸卡盤
3.2 直流電源低噪音
3.3 空吸附：1.中央吸附孔 2.二英寸盤面 3.四英寸盤面
3.4 PID溫度控制器分辨率:1℃
3.5 溫度漂移：≤0.01%FS/℃
3.6 溫度誤差：室溫加溫到300度，任何區(qū)段+-1%
3.7 40段程序編排，30段具備自動(dòng)跳轉(zhuǎn)功能
CL-6探針測(cè)試臺(tái)的使用方法
1、 將樣品載入空卡盤，開啟空閥門控制開關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
2、 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3、 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。
4、 顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。
5、 待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢，以防動(dòng)作過大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng)，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。
6、 確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后，則可以通過連接的測(cè)試設(shè)備開始測(cè)試。
探針座點(diǎn)針測(cè)試
1、 固定樣品
將待測(cè)器件載入卡盤，調(diào)整好待測(cè)位置后,開啟空閥門控制開關(guān)，將WAFER/芯片或其它樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
2、觀測(cè)待測(cè)位置
打開光源，調(diào)整光源合適的亮度，使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)將待觀察點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下，同時(shí)調(diào)節(jié)顯微鏡的倍率，先可放到低倍率找到待測(cè)點(diǎn)，使用樣平臺(tái)X-Y平移將待測(cè)點(diǎn)移動(dòng)到視野正中間，再更換高倍率物鏡，將影像調(diào)節(jié)清晰。
3、 點(diǎn)針
待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座上下左右三個(gè)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢，以防動(dòng)作過大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，當(dāng)視野中針尖有向移動(dòng)的趨勢(shì)，證明已經(jīng)接觸。（也可以使用X軸旋鈕左右滑動(dòng)，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸）
4、測(cè)試
確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后，則可以通過連接的測(cè)試設(shè)備開始測(cè)試。
CL-6探針測(cè)試臺(tái)的注意事項(xiàng)
當(dāng)您使用本儀器時(shí)，可能會(huì)碰到些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。
癥狀 | 可能原因 | 解決方法 |
移動(dòng)樣品后畫面變模糊 | 顯微鏡不垂直 | 調(diào)垂直顯微鏡 |
樣品臺(tái)不水平 | 調(diào)水平樣品臺(tái) |
樣品不平 | |
顯微鏡視場(chǎng)亮度不足，邊緣切割或看不到像 | 轉(zhuǎn)換器不在定位位置上 | 把轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)到定位位置上 |
管鏡轉(zhuǎn)盤不在定位位置上 | 把管鏡轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)到定位位置上 |
照明的亮度不足 | 調(diào)節(jié)光源亮度或者把孔徑光欄孔調(diào)大 |
沒有裝目鏡 | 裝上目鏡 |
沒有裝物鏡 | 裝上物鏡 |
顯微鏡像質(zhì)變差 | 目鏡臟 物鏡臟 管鏡臟 | 對(duì)目鏡，物鏡，管鏡臟的地方進(jìn)行清潔 |
孔徑光欄關(guān)的太大或者太小 | 調(diào)節(jié)孔徑光欄 |
沒有調(diào)好焦 | 調(diào)節(jié)調(diào)焦手輪 |
樣本上蓋有蓋玻片等介質(zhì) | 移開蓋玻片等介質(zhì) |
圖像邊清晰，邊模糊 | 樣本傾斜放置 | 放平樣本，或者調(diào)節(jié)樣品臺(tái)水平 |
物鏡沒有旋緊 | 旋緊物鏡 |
眼睛容易疲勞 | 雙目頭的瞳距和操作者不匹配 | 調(diào)節(jié)雙目頭的瞳距 |
| 目鏡視度調(diào)節(jié)不正確 | 調(diào)節(jié)目鏡視度 |
| 照明亮度不合適 | 調(diào)節(jié)光源亮度或者孔徑光欄孔 |
CL-6探針測(cè)試臺(tái)的維護(hù)和保養(yǎng)
1、 電源使用
電源：220±10%，50—60Hz
2、 避免碰撞
探針臺(tái)所使用的牙具為是非常精密的機(jī)械部件，在使用和運(yùn)輸過程中務(wù)必注意輕拿輕放，嚴(yán)禁磕碰，以免損壞儀器或影響機(jī)械精度。
3、環(huán)境控制
使用佳溫度范圍為5℃～40℃，佳濕度是40%到85%，空氣中之濕度若低于30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%～60%之范圍。使用時(shí)門窗盡可能關(guān)閉，使室內(nèi)達(dá)到除濕效果。機(jī)體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。
4、 機(jī)臺(tái)清潔
● 每次使用完畢后，需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免泥沙等污物將接口堵塞導(dǎo)致接觸不良。
● 探針臺(tái)機(jī)體清潔時(shí)，避免直接潑水清理，以濕布輕輕擦拭并吹干即可。機(jī)體表面有黏著物，可用肥皂水清洗，避免以汽油、石油精、溶劑或噴霧式殺蟲劑噴之，以避免發(fā)生變色現(xiàn)象。不可用硬物接觸機(jī)器，以免發(fā)生故障或危險(xiǎn)。停電或長(zhǎng)期不用、外出旅行時(shí)，請(qǐng)將電源線插頭拔掉以維護(hù)機(jī)器壽命.
● 定期使用潤(rùn)滑油或潤(rùn)滑脂對(duì)活動(dòng)結(jié)構(gòu)進(jìn)行清潔和保護(hù)。
● U型平臺(tái)要定期用無(wú)水酒精清洗，使用防銹油浸泡天，然后再使用無(wú)水酒精擦拭干凈。
5、不要隨意拆卸
不當(dāng)?shù)牟鹦犊赡茉斐?a target="_blank">儀器損壞或降低精度與性能，因此，除非是特別指定可以拆開的部位，否則不要隨意拆卸機(jī)械結(jié)構(gòu)。
滬公網(wǎng)安備31011502016460號(hào)
