探針臺
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特點 | 類型 | 規格 |
*緊湊的結構，輕巧的重量； *結構設計合理，經濟實用； *探針操作靈敏，直線度高； *便于維護； | Chuck（卡盤） | 尺寸：4英寸，圓形 |
材質：不繡鋼（可升***鍍金） |
旋轉角度：0-360°可帶角度鎖定，精度0.1° |
X-Y移動行程：4" x4"，移動精度：10um（可升***為1um精度） |
吸附孔：中心孔徑*小可做到250微米，*小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，能夠吸住尺寸為4"X4" |
整體規格 | U型設計，可放置4個高端探針座，中端*多8個探針座 |
平整度：5um，平臺特殊處理，使得探針座吸附更牢固 |
尺寸：500mm長 x 480mm寬 x 480mm高(帶顯微鏡) |
重量：50KG（帶顯微鏡）
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選配： * Z軸升降行程：5mm，卡盤快速升降，方便更換樣品，不會碰觸到其他已調試好器件； * 卡盤鍍金； * 搭配射頻探針；
* 視頻CCD系統； * 防震桌； * 屏蔽箱； * 加熱系統； |
滬公網安備31011502016460號
