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型號(hào)：CM-4

規(guī)格：

1、固定樣品方式：真空吸附

2、chuck尺寸：4英寸，圓形（方形可選）

3、chuck材質(zhì)：不銹鋼（可升***鍍金）

4、chuck旋轉(zhuǎn)：0-360°可帶角度鎖定，精度0.1°

5、chuck在X-Y軸上的移動(dòng)行程：4" x4"，移動(dòng)精度：10um（可升***為1um精度）

6、針座平臺(tái)：U型平臺(tái)，可放置6-8個(gè)針座

7、平臺(tái)升降：可快速升降5mm

顯微鏡：體式三目顯微鏡，含CCD接口

顯微鏡放大倍率：16倍~100倍，可加2X輔助物鏡物鏡到200倍

顯微鏡在Z軸方向的調(diào)節(jié)范圍：50.8mm

機(jī)臺(tái)尺寸：400mm長(zhǎng) x 400mm寬 x 500mm高(帶顯微鏡)   

整機(jī)重 量：30 Kg  (帶顯微鏡)


特點(diǎn)：

1、4 inch樣品臺(tái)

2、緊湊的結(jié)構(gòu) 

3、輕巧的重量

4、實(shí)惠的價(jià)格

5、可以做光電方面測(cè)試

6、LED/LD/PD的光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試

7、可以進(jìn)行射頻測(cè)試

8、加裝東/西方向針座

9、適合大學(xué)實(shí)驗(yàn)室通用

10、適合4“以下晶圓測(cè)試

11、無(wú)后座力移動(dòng)