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高級(jí)原子沉積機(jī)

價(jià)  格：詢價(jià)

產(chǎn)  地：更新時(shí)間：2021-01-19 15:36

品  牌：型  號(hào)：P-300B Advanced ALD

狀  態(tài)：正常點(diǎn)擊量：2121

400-006-7520
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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人： 上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

電   話： 400-006-7520

傳   真： 400-006-7520

配送方式： 上海自提或三方快遞

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 PICOSUN P-300B Advanced ALD 高***原子沉積機(jī)

技術(shù)參數(shù)
  。基片尺寸和類型 300mm晶圓10片/批次（標(biāo)準(zhǔn)間距）
  。200mm晶圓25+2片/批次（標(biāo)準(zhǔn)間距）

工藝溫度 ：50 - 500 °C

基片傳送選件：。 氣動(dòng)升降（手動(dòng)加載）
         。半自動(dòng)裝載，用線性裝載器實(shí)現(xiàn)
         。52片晶圓盒式全自動(dòng)裝載，用真空批量Load lock實(shí)現(xiàn)

前驅(qū)體：  。液態(tài)，固態(tài)，氣態(tài)，臭氧源
       。前驅(qū)源余量傳感器，并提供清洗和裝源服務(wù)
       。4根獨(dú)立源管線，*多加載6個(gè)前驅(qū)體源

重量 ：400 + 300 kg

尺寸： (W x H x D) 149 cm x 191 cm x 111 cm

選件 ：PICOFLOW™ 擴(kuò)散增強(qiáng)，N2發(fā)生器，尾氣處理器，定制設(shè)計(jì)，與工廠軟件連接服務(wù)。

驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn) ：標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)為 Al2O3 工藝



PICOSUN高產(chǎn)量的批量型工業(yè)用ALD系統(tǒng) 

各種的批量產(chǎn)品裝載及自動(dòng)化選項(xiàng)ALD技術(shù)可以覆蓋各種形狀、各種表面的樣品，可以覆蓋*細(xì)小的地方，*難到達(dá)的地方。具有高度的保形性、均***性及***無針孔。這使得ALD可以應(yīng)用于各種行業(yè)里，實(shí)現(xiàn)各種表面的保護(hù)。ALD薄膜可以附著在各種表面上，例如金屬，玻璃，塑料，乃至纖維及粉末。作為氣相、低溫的沉積技術(shù)，ALD薄膜可以生長(zhǎng)在非常敏感的表面上，例如聚合物薄膜。

***，Picosun的ALD技術(shù)應(yīng)用在鐘表部件、珠寶、硬幣上進(jìn)行防著色，防腐蝕的裝飾涂層。在生物植入醫(yī)療部件上的生物兼容、生物活性涂層。致密、惰性、密封、彈性、透明的ALD薄膜技術(shù)挑戰(zhàn)傳統(tǒng)的膜生長(zhǎng)方式。在PCB防腐蝕保護(hù)、防摩損等領(lǐng)域，ALD層大大提升了部件的質(zhì)量、可靠性及壽命。

D 應(yīng)用
ALD U
 產(chǎn)品
     應(yīng)用
.
 


產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹




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