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生產(chǎn)型原子層沉積機(jī)

價(jià)  格:詢價(jià)

產(chǎn)  地:更新時(shí)間:2021-01-19 15:36

品  牌:型  號(hào):PICOSUN P-200S Pro ALD

狀  態(tài):正常點(diǎn)擊量:1642

400-006-7520
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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人: 上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

電   話: 400-006-7520

傳   真: 400-006-7520

配送方式: 上海自提或三方快遞

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PICOSUN P-200S Pro ALD 生產(chǎn)型原子層沉積機(jī) 

技術(shù)參數(shù)


襯底尺寸和類型:

  。50 – 200 mm /單片
  。156 mm x 156 mm 太陽(yáng)能硅片
  。150 mm x 150 mm 顯示面板

 

工藝溫度: 50 - 500 °C , 可選更高溫度


基片傳送選件 :

  。氣動(dòng)升降(手動(dòng)裝載)
  。半自動(dòng)裝載,用PICOPLATFORM™200集群系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)
  。25片晶圓盒對(duì)盒式全自動(dòng)裝載(cassette-to-cas
sette),用PICOPLATFORM™200集群系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)
 

標(biāo)準(zhǔn): SEMI S2 認(rèn)證(認(rèn)證中)
 

前驅(qū)體:

  。 液態(tài), 固態(tài), 氣態(tài), 臭氧源, 等離子體(*多4路氣體):
  。前驅(qū)源余量傳感器,并提供清洗和裝源服務(wù)
  。6根獨(dú)立源管線,*多加載12個(gè)前驅(qū)體源(加上Plasma管路,共7根獨(dú)立源管線)

重量
 :790 kg

尺寸
 :(W x H x D) 160 cm x 80 cm x 240 cm

可選件
 :集群工具, PICOFLOW™ 擴(kuò)散增強(qiáng)器, 集成橢偏儀, QCM, RGA, N2發(fā)生器,尾氣處理器,定制設(shè)計(jì),與工廠軟件連接服務(wù)。


驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)
 :。標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)為 Al2O3 工藝,
        。其他工藝可具體協(xié)商:其他工藝、應(yīng)用具體驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)如:
         - 不均勻性
         - 顆粒物含量
         - 重金屬污染
         - 電學(xué)性能

***個(gè)PICOPLATFORM™ 200真空集群系統(tǒng)由兩臺(tái)PICOSUN™ P-200S ALD設(shè)備組成,帶等離子體源PICOPLASMA™。

 

產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹




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