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OAI Model 800E 型掩模對準系統

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-19 15:35

品  牌:型  號:

狀  態:正常點擊量:1775

400-006-7520
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上海非利加實業有限公司

聯 系 人: 上海非利加實業有限公司

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配送方式: 上海自提或三方快遞

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 OAI Model 800E 型掩模對準系統

 

。各種光譜范圍選項:Hg燈:G(436nm),H(405nm), I(365nm)和310nm線,Hg-Xe燈:260nm和220nm

。基片尺寸范圍從4“8”直徑

。燈功率范圍從200到2000W或LED

。電腦操作和配方存儲

。易于使用的GUI和多功能操縱桿

。手動對齊在頂部和底部雙2 mp GigE攝像機和機動的X-Y-Z-Theta舞臺與操縱桿/菜譜操作

。升***到自動對齊w / Cognex軟件升***

。楔自動補償和機動z軸帶有編碼器和3點水準升***選項

。紅外光學背面對齊選擇升***

接近(20um): 3.0um,軟觸點:2.0um,硬觸點:1um,真空觸點:≤0.5um

。提供正面和背面接觸和對齊0.5 - 1的準確性

。提供半自動化/研發和低容量生產模式

。適用于MEMS、半導體、Microfludic納米印記,PSS襯底和CLiPP流程

 

 

Model 800E Mask Aligner System


。 Various Spectra Range Options: Hg Lamp: G (436nm), H (405nm), I(365nm) and 310nm lines, Hg-Xe Lamp:    260nm and 220nm
。 Substrate sizes range from 4” to 8” diameter or square
。 Lamp Power range from 200 to 2,000W or LED
。 PC Operation and Recipe Storage
。 Easy to use GUI and Multifunction Joystick
。 Manual Alignment with Top and Bottom Dual 2MP GigE Cameras and Motorized X-Y-Z-Theta Stage with Joystick / Recipe Operation
。 Upgrade to Auto Alignment w/ Cognex Software Upgrade
。 Automated wedge compensation and motorized z-axis with encoder and option for 3 Point Leveling Upgrade
。 IR Optics Backside Alignment Option upgrade
。 Proximity (20um): <3.0um, Soft Contact: <2.0um, Hard contact: 1um and vacuum contact : ≤ 0.5um
。 Provides Front and backside exposure and alignment accuracy of 0.5-1um
。 Available in semi automated / R&D and low volume production modes
。 Applicable for MEMS, Semiconductor, Microfludic, NanoImprinting, PSS Substrate and CLiPP Processes


產品參數


產品介紹



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