測量儀 三坐標測量儀是指在***個六面體的空間范圍內，能夠表現幾何形狀、長度及圓周分度等測量能力的儀器，又稱為三坐標測量機或三坐標量床。三坐標測量儀又可定義“***種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號，三個軸的位移測量系統（如光柵尺）經數據處理器或計算機等計算出工件的各點（x，y，z）及各項功能測量的儀器”。三坐標測量儀的測量功能應包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等。編輯本段三坐標測量介紹（1）介紹
三坐標測量機的生產廠***有很多，比如3DFAMILY、ZEISS（蔡司）、HEXAGON（青島海克斯康）、EUROTONE（上海歐潼）、WENZEL（溫澤）、Mitutoyo（三豐）、佛迪、雷頓、愛德華、西安力德、思瑞等。
（2）機型介紹
行 程： X軸 2500 mm Y軸 1500 mm Z軸 1000 mm 結構型式：三軸花崗巖、四面全環抱的德式活動橋式結構 傳動方式：直流伺服系統 + 預載荷高精度空氣軸承 長度測量系統：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.1μm 測頭系統：雷尼紹控制器、雷尼紹測頭、雷尼紹測針 機 臺：高精度（00***）花崗巖平臺 使用環境：溫度（20±2）℃，濕度40%-70% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h 空氣壓力：0.4 MPa - 0.6 Mpa 空氣流量：25 L/min 長度精度MPEe： ≤2.1+L/350 （μm） 探測球精度MPEp： ≤2.1μm
（3）主要特征
1.三軸采用天然高精密花崗巖導軌，保證了整體具有相同的熱力學性能，避免由于三軸材質不同熱膨脹系數不同所造成的機器精度誤差。 花崗巖與航空鋁合金的比較 ： 1）鋁合金材料熱膨脹系數大（參數見下表）。***般使用航空鋁合金材料的橫梁和Z軸在使用幾年之后，三坐標的測量基準——光柵尺就會受損，精度改變。 材料 比重
（kg/dm³） 熱膨脹系數
（1/K） 截面導熱率
（W/mK）
鋼 7.80 10.4X10 42-63
航空鋁合金 2.90 23.8X10 210
陶瓷材料 3.40 8.0X10 28
花崗巖 2.77 6.5X10 3.5
2）由于三坐標的平臺是花崗巖結構，這樣三坐標的主軸也是花崗巖材質。主軸采用花崗巖而橫梁和Z軸采用鋁合金等其他材質，在溫度變化時會因為三軸的熱膨脹系數不均同而引起測量精度的失真和穩定。 2. 三軸導軌采用全天然花崗巖四面全環抱式矩形結構，配上高精度自潔式預應力氣浮軸承，是確保機器精度長期穩定的基礎，同時軸承受力沿軸向方向，受力穩定均衡，有利于保證機器硬件壽命。 3. 采用小孔出氣專利技術，耗氣量為30L/Min，在軸承間隙形成冷凝區域，抵消軸承運動摩擦帶來的熱量，增加設備整體熱穩定性。采用歐潼小孔出氣的技術，使得冷凝效應恰恰抵消測量中因為空氣摩擦產生的微弱熱量，使得設備保持長時間的溫度穩定性，從而保證精度穩定性！氣浮軸承 歐潼的四面環抱軸承技術，保證驅動平順穩定 三面氣浮軸承 兩面或三面環抱 每分鐘 耗氣量 30L/MIN 150L/MIN 70L/MIN 主支撐 高于臺面，中心低，比較粗短，運行穩定，程度減少阿貝誤差 主支撐和臺面相平，細長，重心高，運行時候阿貝誤差較大
4. 三軸均采用英***RENISHAW原裝鍍金光柵尺，分辨率為0.1um；同時采用***端固定，***端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形。 5.傳動系統采用***際先進的設計，無任何導軌受力變形，程度保證機器精度和穩定性。采用鋼絲增強同步帶傳動結構，有效減少高速運動（增加）時的震動，具有高強度，高速度及無磨損特點。 6. 軟件為PTB全面認證的業界標桿RATIONAL-DMIS，功能強大，簡單易學，讓你更專注于產品測量而不是學習軟件。
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