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基本功能

1，針對(duì)微小區(qū)域測(cè)試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù)

2，實(shí)現(xiàn)薄膜均勻性檢測(cè)

3，寬光譜范圍同時(shí)有效滿足材料分析、探測(cè)等應(yīng)用

產(chǎn)品特點(diǎn)

l  強(qiáng)大的數(shù)據(jù)運(yùn)算處理功能及材料NK數(shù)據(jù)庫(kù)；

l  簡(jiǎn)便、易行的可視化測(cè)試界面，可根據(jù)用戶需求設(shè)置不同的參數(shù)；

l  實(shí)現(xiàn)微小區(qū)域薄膜分析研究；

l  快捷、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的參數(shù)測(cè)試；

l  支持多功能配件集成以及定制；

l  支持不同水平的用戶控制模式；

l  支持多功能模擬計(jì)算等等。

系統(tǒng)配置

型號(hào)：MSP500RTMF

雙探測(cè)器系統(tǒng)：2048像素的CCD陣列用于UV-Vis，InGaAs陣列用于NIR

光源：高功率的DUV和可見光光源

自動(dòng)的臺(tái)架平臺(tái)：特殊處理的鋁合金操作平臺(tái)，手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)范圍為100mm×75mm

焦距：螺桿控制的自動(dòng)調(diào)焦

物鏡有著長(zhǎng)焦點(diǎn)距離:4×、10×、15× 、50×(包括***個(gè)DUV物鏡)通訊接口：USB的通訊接口與計(jì)算機(jī)相連

軟件：帶有全自動(dòng)成像功能和2D/3D圖形輸出的TFProbe 2.2VM版本的軟件。

測(cè)量類型：反射/透射光譜、薄膜厚度/反射光譜和特性尺寸

計(jì)算機(jī)硬件：英特兒酷睿2雙核處理器，19”LCD顯示器

電源：110–240V AC/50-60Hz，3A

尺寸：16’x16’x18’ (操作桌面設(shè)置)

重量：120磅總重      保修：***年的整機(jī)及零備件保修

規(guī)格

波長(zhǎng)范圍：250nm到1700 nm

波長(zhǎng)分辨率: 1nm

光斑尺寸：100µm (4x), 40µm (10x), 30µm (15x), 8µm (50x)

基片尺寸：*多可至20mm

測(cè)量厚度范圍: 20Å 到25 µm

測(cè)量時(shí)間：*快2毫秒

精確度*：優(yōu)于0.5％（通過使用相同的光學(xué)常數(shù)，讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較）

重復(fù)性誤差*：小于2 Ǻ

可選配件項(xiàng)

l  波長(zhǎng)可擴(kuò)展到遠(yuǎn)DUV或者長(zhǎng)NIR范圍(～2500nm）

l  可根據(jù)客戶的特殊需求來(lái)定制

l  在動(dòng)態(tài)實(shí)驗(yàn)研究時(shí)，可根據(jù)需要對(duì)平臺(tái)進(jìn)行加熱或致冷

l  可選擇的平臺(tái)尺寸*多可測(cè)量300mm大小尺寸的樣品

l  更高的波長(zhǎng)范圍的分辨率可低至0.1nm

l  各種濾光片可供各種特殊的需求

l  可添加應(yīng)用于熒光測(cè)量的附件

l  可添加用于拉曼應(yīng)用的附件

l  可添加用于偏光應(yīng)用的附件

應(yīng)用領(lǐng)域

主要應(yīng)用于透光薄膜分析類領(lǐng)域：

l  玻璃鍍膜領(lǐng)域（LowE、太陽(yáng)能…）

l  半導(dǎo)體制造（PR，Oxide, Nitride…)

l  液晶顯示（ITO，PR，Cell gap...）

l  光學(xué)涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

l  半導(dǎo)體化合物

l  在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜

l  非晶體，納米材料和結(jié)晶硅