ES01 快速攝譜式 自動變角度光譜橢偏儀
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ES01是針對科研和工業環境中薄膜測量推出的高精度全自動光譜橢偏儀,系列儀器的波長范圍覆蓋紫外、可見到紅外。
ES01系列光譜橢偏儀用于測量單層和多層納米薄膜的層構參數(如,厚度)和物理參數(如,折射率n、消光系數k),也可用于測量塊狀材料的折射率n和消光系數k。
ES01系列光譜橢偏儀適合于對樣品進行實時和非實時檢測。
特點:
原子層量***的檢測靈敏度
的采樣方法、高穩定的核心器件、高質量的設計和制造工藝實現并保證了能夠測量原子層量***的納米薄膜,膜厚精度達到0.05nm。