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EM13 LD系列多入射角激光橢偏儀
價 格:詢價
產(chǎn) 地:更新時間:2021-01-18 16:45
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EM13LD 系列是采用的測量技術(shù),針對普通精度需求的研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域推出的多入射角激光橢偏儀。
EM13LD系列采用半導(dǎo)體激光器作為光源,可在單入射角度或多入射角度下對樣品進(jìn)行準(zhǔn)確測量。可用于測量單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數(shù)k;也可用于同時測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k;亦可用于實時測量納米薄膜動態(tài)生長中膜層的厚度、折射率n和消光系數(shù)k。多入射角度設(shè)計實現(xiàn)了納米薄膜的絕對厚度測量。