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測量方法

PEM雙重鎖定方式、光伺服/光參照控制方式

分光器

-

雙單色器
  自動波長驅動裝置

雙單色器

（260～900nm）
  單單色器

（900～1700nm）
  自動波長
  驅動裝置

單單色器
  自動波長
  驅動裝置

雙單色器
  自動波長
  驅動裝置

測量波長

He-Ne激光
  (632.8nm)

He-Ne激光 (632.8nm)
  Xe光源
  (260～860nm)

He-Ne激光
  (632.8nm)
  Xe光源

(240～700nm)

He-Ne激光
  (632.8nm)
  Xe光源

(26～900nm)
  鹵素燈

(900～1700nm)

Xe光源
  (350～800nm)

He-Ne激光
  (632.8nm)
  Xe光源
  (260～860nm)

入射 　角范圍

40b～ 90b
  連續自動設定
  （0.01b間隔）

45b～ 90b
  連續自動設定
  （0.01b間隔）

40b～ 90b
  連續自動設定
  （0.01b間隔）

膜厚測量范圍

0～99999?

測量時間

1msec以上

20μsec～16sec

測量準確度^*

屈折率　±0.01

膜厚　±1?

消衰S數　±0.01

*準確度是指測量時間100msec以上。另外、根據表面狀態、膜質不同準確度也不同。

樣品室

樣品垂直放

樣品水平放

樣品垂直放

檢測器

檢光子（Glan-Taylor棱鏡）
  紫外可見區域：光電子倍管　近紅外區域：InGaAs-PIN光電二極管（M-240）