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TESCAN VEGA3鎢燈絲掃描電鏡

VEGA系列的設計適合各種SEM應用及當今研究和工業(yè)的需求。經過10多年的不斷發(fā)展，TESCAN已經成功開發(fā)、研制和制造了VEGA的第三代產品。新***代的VEGA給用戶帶了*新的技術優(yōu)勢，包括改進的高性能電子設備使成像速度更快，包含了靜態(tài)和動態(tài)圖像扭曲補償技術的超快掃描系統，內置的編程軟件等，使VEGA系列產品保持著非常高的性價比。

LaB6發(fā)射源

TESCAN能提供介于肖特基與鎢燈絲性能之間的LaB6（六硼化鑭）作為電子發(fā)射源。LaB6的優(yōu)勢包括：穩(wěn)定的電子發(fā)射源（與場發(fā)射電子源相比），在陰極較低溫度下可獲取比較高的束流（與鎢燈絲電子源相比）。這就意味著在整個范圍的加速電壓和很長的使用壽命中，LaB6可以保持很高的亮度和分辨率?；谄浞浅８叩陌l(fā)射電流，LaB6是需要大電子束流應用領域的正確選擇。

現代電子光路

• 獨特的四透鏡大視野光路設計提供各種各樣的工作與顯示模式

• 以電磁的方式改變物鏡光闌――中間鏡的作用如同"光闌轉換器"

• 透鏡與線圈的優(yōu)質材料使成象率達到20ns/像素，并減少了動態(tài)扭曲效應

• 結合了完善的電子光學設計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing?），可模擬和優(yōu)化電子束

• 鏡筒設計提供了全自動電子光路設置，鏡筒不含機械對中結構

• 3維電子束技術提供了實時立體圖像

檢修方便

只要很短的停機檢查后就能保持電鏡長時間處于*佳狀態(tài)。每個細節(jié)設計得很仔細，使得儀器的效率化，操作*簡化。

自動操作

通過***次點擊就可以進行自動燈絲加熱和電子槍對中。眾多的自動程序減少了用戶的操作時間，并提供了操作的自動導航與自動化分析。通過內置腳本語言（Python）用戶可以進入軟件大多數功能，包括電鏡控制、樣品臺導航、圖像采集、處理與分析。通過腳本語言用戶也可以自定義軟件的自動操作。

用戶界面友好的軟件

• 用戶界面有各種語言版本

• 多用戶界面（包括了EasySEMTM模式）不同賬戶的權利使常規(guī)分析過程更快

• 圖像文件管理與報告生成

• 內置的自動系統檢查

• 通過局域網或互聯網可實現電鏡遠程診斷

• 模塊化軟件體系結構

• 標準的軟件模塊包括了：測量工具、圖像處理、對象區(qū)域等

• 選配軟件包括了：顆粒度分析、三維表面重構等

TESCAN VEGA3超大樣品室鎢燈絲掃描電鏡（GM）

分析潛力：

• GM樣品室配備有5軸馬達驅動樣品臺

• 多于20個接口，優(yōu)化的幾何設計更適合安裝能譜儀（EDS）、波譜儀（WDX）、電子背散射衍射（EBSD）

• ***流YAG閃爍器式探頭

• 可選各種探頭和配件

• 渦輪分子泵和機械泵同時工作，幾分鐘即可達到儀器操作需要的真空狀態(tài)

• 在可變真空模式下可觀測不導電的樣品（XMU型號）

• 可選樣品室減振方式

• 3維Metrology軟件提供了三維重構與3維測量功能

VEGA3配置：

GM型號適合觀測大樣品。


VEGA3 GMH

超大樣品室，高真空模式，適用于觀測大型導電材料。

VEGA3 GMU

可變真空式掃描電鏡，體現了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點。在低真空模式下可以觀測不導電的樣品，不需要噴金。

軟件（標配）：

• 測量

• 圖象處理

• 3維掃描

• 硬度測量

• 多圖像校準

• 對象區(qū)域

• 自動關機時間

• 公差

• 編程軟件

• 定位

• 投影面積

• EasySEMTM

配件：

• 二次電子探頭（SE），ET型二次電子探頭（YAG 閃爍體）

• 可移動式背散射電子探頭（RBSE）*，可移動環(huán)行閃爍體類（YAG）具有高靈敏度和原子序數分辨率（0.1Z）

• 低真空二次電子探頭

• 探針電流測量

• 壓差式防碰撞報警裝置

• 可觀察樣品室內部的紅外線攝像頭

• 冷臺等，各種配件可供選擇