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微米膜厚測量儀 C11011-21

價  格:詢價

產(chǎn)  地:更新時間:2020-12-15 10:34

品  牌:其他型  號:C11011-21

狀  態(tài):正常點(diǎn)擊量:1299

400-006-7520
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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人: 上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

電   話: 400-006-7520

傳   真: 400-006-7520

配送方式: 上海自提或三方快遞

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產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹

微米膜厚測量儀 C11011-21

  • 詳細(xì)介紹

  • 詳細(xì)參數(shù)

    型號C11011-21
    可測膜厚范圍(玻璃)25 μm to 2200 μm*1
    光源Infrared LD (1300 nm)
    光斑尺寸Approx. φ60 μm*4
    工作距離155 mm*4
    可測層數(shù)Max. 10 layers
    分析Peak detection
    測量時間16.7 ms/point*5
    外部控制功能RS-232C, Ethernet
    電源AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz
    功耗Approx. 50 VA
    接口USB 2.0 (Main unit - Computer)
    可測膜厚范圍(硅)10 μm to 900 μm*2
    測量可重復(fù)性(硅)100 nm*3
    測量準(zhǔn)確度(硅)< 500 μm: ±0.5 μm, > 500 μm: ±0.1 %*3


    * 1:玻璃折射率相同。 

    * 2:硅折射率相同。 

    * 3:測量硅時為標(biāo)準(zhǔn)偏差。 

    * 4:可選1000毫米工作距離的型號。 (型號C11011-01WL) 

    * 5:***短曝光時間。

    產(chǎn)品特性

    ● 利用紅外光度測定進(jìn)行非透明樣品測量 


    ● 測量膜厚度范圍(玻璃):25μm-2200μm 


    ● 測量速度高達(dá)60 Hz 


    ● 可測量層數(shù):10層 


    ● 測量帶圖紋晶圓或帶保護(hù)膜的晶圓 


    ● 工作距離長 


    ● Mapping功能 


    ● 可外部控制

    外形尺寸(單位:mm)


  • 產(chǎn)品優(yōu)勢


  • C11011-21型光學(xué)微米膜厚測量儀利用激光干涉法原理,測量速度達(dá)60Hz,適用于產(chǎn)品在線測量。此外,選配的作圖系統(tǒng)可以用于測量指定樣品的厚度分布。C11011-01W應(yīng)用廣泛,比如用于產(chǎn)品制造過程監(jiān)控或質(zhì)量控制。


    C11011-21可測玻璃膜厚范圍分別為25 μm 到2200 μm 和10 μm 到 900 μm,可測層數(shù)zui多為10層。




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