日立 FT9500系列 X射線(xiàn)熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x
儀器簡(jiǎn)介：
X射線(xiàn)發(fā)生系統(tǒng)為X射線(xiàn)聚焦光學(xué)系統(tǒng)（聚焦導(dǎo)管）與X射線(xiàn)源相結(jié)合，并且可以照射出實(shí)際照射直徑為0.1mmΦ以下高強(qiáng)度的X射線(xiàn)束。為此，可以對(duì)以往X射線(xiàn)熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x由于照射強(qiáng)度不足而無(wú)法得到理想精度的導(dǎo)線(xiàn)架、插接頭、柔性線(xiàn)路板等微小部件及薄膜進(jìn)行測(cè)量。同時(shí)搭載高計(jì)數(shù)率、高分辨率的半導(dǎo)體檢測(cè)器，在測(cè)量鍍層厚度的同時(shí)，也能對(duì)RoHS、ELV、中***版RoHS等法規(guī)所管制的有害物質(zhì)進(jìn)行分析測(cè)量。
技術(shù)參數(shù)：
| 型號(hào) | FT9500 | FT9550 | FT9500L |
|---|
| 測(cè)量元素 | Al（13）～Bi（83） |
| X射線(xiàn)源 | 管電壓：50（可變更）kV
管電流： 10～1000 μA |
| 檢測(cè)器 | 半導(dǎo)體檢測(cè)器（無(wú)需液氮） |
| X射線(xiàn)聚光 | 聚光導(dǎo)管方式 |
| 樣品觀察 | CCD攝像頭（帶變焦功能） |
| 對(duì)焦 | 激光對(duì)焦 |
| 濾波器 | ***次濾波器：3個(gè)位置（自動(dòng)切換） |
| 樣品區(qū)域 | X:240mm, Y:175mm
X:220mm, Y:150mm, Z:150mm | X:420mm, Y:330mm
X:400mm, Y:300mm, Z:50mm | X:840mm, Y:540mm
X:400mm, Y:300mm, Z:50mm |
| 測(cè)量軟件 | 薄膜FP法（***大5層、10種元素）、檢量線(xiàn)法、塊體FP法（材料組成分析） |
| 安全功能 | 樣品門(mén)聯(lián)鎖 |
1. 薄膜及多層膜測(cè)量
通過(guò)采用新型的毛細(xì)管（X射線(xiàn)聚光系統(tǒng)）和X射線(xiàn)源，把與以往機(jī)型FT9500同等強(qiáng)度的X射線(xiàn)聚集在30 μmΦ的極微小范圍。因此，不會(huì)改變測(cè)量精度即可測(cè)量幾十微米等***的微小范圍。
同時(shí)，也可對(duì)幾十納米等***的Au/Pd/Ni/Cu多鍍層的各層膜厚進(jìn)行高精度測(cè)量。
2. 異物分析
通過(guò)高能量微小光束和高計(jì)數(shù)率檢測(cè)器的組合，可進(jìn)行微小異物的定性分析。利用CCD攝像頭選定樣品的異物部分并照射X射線(xiàn)，通過(guò)與正常部分的能譜差進(jìn)行異物的定性分析（Al～U）。
3. 數(shù)據(jù)編輯功能
配備了Microsoft Excel和Microsoft Word。在Microsoft Excel上面配備了統(tǒng)計(jì)處理軟件，可以進(jìn)行測(cè)量數(shù)據(jù)、平均值、***大/***小值、C.V.值、Cpk等的統(tǒng)計(jì)處理。 另外，通過(guò)Microsoft Word可以簡(jiǎn)單的制作包含了樣品畫(huà)圖的測(cè)量報(bào)告書(shū)。
4. 高強(qiáng)度照射
通過(guò)高強(qiáng)度照射在微小部分也可以鮮明的觀察、聚焦位置。
5. 樣品工作臺(tái)
配備等同與FT9550X的大型樣品臺(tái)，能夠?qū)Υ笮途€(xiàn)路板等樣品進(jìn)行整體排列測(cè)量對(duì)應(yīng)。
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