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Diener FEMTO 微波等離子清洗機(jī)

德***Diener electronic成立于1993年，是世界低溫等離子工業(yè)的，是******專(zhuān)門(mén)研發(fā)和制造低溫低壓等離子清洗機(jī)、等離子射頻電源和大氣（常壓）等離子清洗機(jī)的高科技企業(yè)。

規(guī)格、參數(shù)：

系列

Femto

控制系統(tǒng)

半自動(dòng)型

PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE)

PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009)

體積

1.9~6L

真空腔室

圓形不銹鋼件，配有蓋子

（大約 Φ 100 mm, 長(zhǎng) 278 mm 或者長(zhǎng) 600 mm）

矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門(mén)

（約寬 103 x 深 285 x 高 103)

配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門(mén)

（大約Φ 95 mm, 長(zhǎng) 280 mm 或者長(zhǎng) 600 mm）

配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門(mén)

（大約 Φ 95 mm, 長(zhǎng) 280 mm 或者長(zhǎng) 600 mm）

配有蓋子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有鉸鏈的門(mén)

（大約Φ 95 mm，長(zhǎng) 280 mm 或者長(zhǎng) 600 mm）

電極

單層或多層

RIE

樣品支架

（選項(xiàng)：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃

氣源

針型閥

質(zhì)量流量控制器 (MFCs)

壓力計(jì)

Pirani

Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）

計(jì)時(shí)器

數(shù)字型

高頻電流發(fā)生器

40 kHz: 功率 0 - 100 W；0 - 1000 W

13.56 MHz；功率 0 - 50 W；0 - 300 W

12.45 GHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W

所有發(fā)生器均為 0 - 100% 無(wú)級(jí)可調(diào)型

真空泵

KASHIYAMA

電源

供電電源： 臺(tái)式設(shè)備為 230 V，立式設(shè)備為 400 V/3 相位

用途： 

Diener等離子清洗機(jī)可用于清洗、刻蝕、磨砂和表面準(zhǔn)備等。可選擇40KHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發(fā)生器，以適應(yīng)不同的清洗效率和清洗效果需要。 

Diener等離子清洗/刻蝕機(jī)具有成本低廉、操作靈活的特點(diǎn)，主要適合于高科技生產(chǎn)單位的以下場(chǎng)合： 

半導(dǎo)體開(kāi)發(fā)、集成電路開(kāi)發(fā)、真空電子行業(yè)、生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等等。 

Diener等離子清洗/刻蝕機(jī)具有以下特點(diǎn)： 

可以更靈活地操作，簡(jiǎn)便地改變處理氣體的種類(lèi)和處理程序；不會(huì)對(duì)操作人員的身體造成任何傷害；其成本對(duì)于等離子處理方法來(lái)說(shuō)是微不足道的。