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AE FC-7700 質量流量計

價  格:詢價

產  地:美國更新時間:2020-11-03 11:17

品  牌:Advanced Energy型  號:AE

狀  態:正常點擊量:2898

400-006-7520
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上海非利加實業有限公司

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配送方式: 上海自提或三方快遞

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美***AE公司 質量流量計(FC-7700系列)

優點:

高性價比

響應速度快:小于2秒

無與倫比的可靠性:使用***年以上,零點漂移小于滿量程的0.5%

易于集成:標準接頭和尺寸

出眾的效果:高品質膜層與蝕刻特性

 

特性

非金屬密封

VCR連接

量程范圍從10SCCM到150SLM

常閉或常開式電磁閥

允許***大清洗流量:高達***大校準值的100倍

漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)

 

FC-7700氣體質量流量計的詳細資料:

Adcanced Energy 的Aera FC-7700系列產品是實踐驗證的適用多種應用的場合的標準產品,該流量計采用非金屬密封,流量控制精確,性價比高。該產品專為從業于半導體、平板顯示、數據存儲、工業真空和工業鍍膜市場的工藝和設備工程師設計,同時,該系列產品在CVD、PVD、蝕刻、離子注入、濺射、熱氧化、光學玻璃鍍膜、光纖、表面處理以及其它鍍膜工藝等腐蝕性氣體應用領域表現出良好的可靠性和優異的性能。

性價比高:

FC-7700系列產品專為那些要求頂極性能,但不要求具有耐腐蝕性或超高漏率要求的應用而定制,不僅性價比好,而且控制精度非常高。

響應速度快:

FC-7700系列產品采用***新技術設計,工作性能遠遠優于同類質量流量控制器MFC.其先進之處包括:采用了***種敏感性強、響應速度快的小直徑傳感器。另外,與采用低速熱敏閥的同類產品相比,FC-7700系列產品采用常開或常閉式電磁閥,具有較快的響應速度。提高響應速度之后,避免了出現過沖,達到設定點的時間不到2秒--在所有帶標準電磁閥的質量流量控制器產品中是***快的。

無與倫比的可靠性:

由高質量的電子組件和采用耐用、***少元器件的設計理念,這使它可以經受強射頻場的干擾,滿足其它運轉要求,并具有同類產品中***佳的零點漂移穩定性--使用超過***年,零點漂移不到滿量程的0.5%。在投入使用的25,000件以上產品中,僅有不到0.5%的產品在出貨***年內返修。

易于集成:

替換其它品牌,即可輕松獲得Area質量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的優勢,且不會遇到安裝方面的麻煩。特定型號的產品帶有標準電氣接頭并具有臨界尺寸,可輕松裝入現有的系統。

出眾的效果:

FC-7700系列質量流量控制器帶給您的不僅僅是薄膜和刻蝕工藝的***致性,同時還有高度的可重復性。


產品參數

型號參數:


類別

FC-7700、7700C、7700CD、7700CU

FC-7710、7710C、7710CD、7710CU

FC-7720、7720C、7720CD

滿量程范圍

10sccm到5slm

6到20slm

35到150slm

20到50slm

響應時間

到達設定點±2%所需時間<2秒

到達設定點±2%所需時間<3秒

精度

滿量程±1%范圍內

滿量程±2%范圍內

線性度

滿量程±0.5%范圍內

滿量程±0.5%范圍內

滿量程±1%范圍內

滿量程±1%范圍內

重復精度

滿量程±0.2%范圍內

漏率

最大值1×10-6 atm-cc/秒(氦)

控制范圍

滿量程的5到100%

壓差

7至40 psi

10至40 psi(517至2069托)

21至40 psi(1086至2069托)

(362至2069托)

14至40 psi(724至2069托)

正常工作壓力

50 psi(2586托)

最大入口壓力

最大值150 psi(7740托)

溫度范圍

5至45℃


 

注:可根據不同客戶的需求,選擇全金屬密封的FC-7800CD系列,數字型的FC-D770系列,全金屬密封及數字型的FC-D980系列


產品介紹




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