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 SmartSPM原子力顯微鏡，又稱掃描探針顯微鏡，SPM.

測量模式

l         接觸式原子力顯微鏡（大氣和液相）

l         半接觸式原子力顯微鏡（大氣和液相）

l         真正非接觸式原子力顯微鏡

l         橫向力/摩擦力顯微鏡（LFM）

l         導(dǎo)電原子力顯微鏡

l         磁力顯微鏡（MFM），開爾文探針（Kelvin Probe）

l         電容和靜電力顯微鏡（EFM）

l         高***的納米光刻和納米操作能力

l         音叉原子力顯微鏡

l         掃描范圍：100x100x15um（+ / -10%）

l         掃描類型：樣品

l         XY非線性度： 0.03 %

l         Z非線性度： 0.1 %

l         噪音：

?         電容傳感器開，在200Hz帶寬，在XY 0.1nm RMS，

?         電容傳感器關(guān)閉，在100Hz帶寬，在XY 0.02nm RMS。

?         1000Hz帶寬， < 0.04nm的RMS Z電容式傳感器

l         數(shù)字閉環(huán)控制：X ， Y ，Z軸

l         XY共振頻率： 7KHz（卸載）

l         Z共振頻率： 15 KHz（卸載）

l         主動消除XY相位滯后，過沖和結(jié)圈現(xiàn)象，在快速掃描時無任何動態(tài)圖像失真

l         在掃描器共振頻率上Z控制信號的數(shù)字濾波技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了極短的穩(wěn)定時間

l         全自動樣品定位：范圍-5 x 5mm，

定位分辨率-1 um

測量模式

l         接觸式原子力顯微鏡（大氣和液相）

l         半接觸式原子力顯微鏡（大氣和液相）

l         真正非接觸式原子力顯微鏡

l         橫向力/摩擦力顯微鏡（LFM）

l         導(dǎo)電原子力顯微鏡

l         磁力顯微鏡（MFM），開爾文探針（Kelvin Probe）

l         電容和靜電力顯微鏡（EFM）

l         高級的納米光刻和納米操作能力

l         音叉原子力顯微鏡

三維掃描成像

AIST-NT是經(jīng)驗(yàn)豐富的掃描探針顯微鏡（SPM）制造商，在掃描探針顯微鏡領(lǐng)域有超過65年的研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，***直致力于新型掃描探針顯微鏡的創(chuàng)新性研發(fā)和制造。目前已推出新***代低噪音-快速掃描-超高穩(wěn)定性的AFM和AFM-NanoRaman系統(tǒng)。AIST-NT承諾提供***高品質(zhì)的服務(wù)和客戶支持，同時還提供納米技術(shù)的OEM客戶定制，外包等業(yè)務(wù)。