半導(dǎo)體／FPD檢查顯微鏡MX61L
價 格：詢價
產(chǎn) 地：日本更新時間：2020-11-25 13:45
品 牌：奧林巴斯型 號：
狀 態(tài)：正常點擊量：2163
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產(chǎn)品參數(shù)
半導(dǎo)體／FPD檢查顯微鏡 MX61L 規(guī)格
| 光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠(yuǎn)校正） |
| 機身 | 觀察方法 |
| 明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光 |
| 反射/透射 |
| 反射/透射 |
| 照明裝置 |
| 機身一體型（明視場，暗視場＋1選件） |
| 照明系統(tǒng) | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 |
|
| 透射照明 | 纖維光導(dǎo) |
| 對焦單元 | 電動/手動 | 手動 |
|
| 行程 | 32 mm |
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| 分辨率/微調(diào)靈敏度 | 微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動1周移動0.1 mm |
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| 最大樣本高度 | 30 mm |
| 物鏡轉(zhuǎn)換器 | 電動型 | 明視場微分干涉6孔
明暗視場微分干涉5孔
明暗視場微分干涉6孔
明暗視場微分干涉中心輸出5孔 |
|
| 手動式 | - |
| 載物臺 | 行程 |
| 14×12 英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm（透射照明范圍356×284 mm） |
| 觀察筒 | 廣角視場（視場數(shù)22） | 倒置 | 雙目/三目觀察筒 |
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| 正像 | 三目觀察筒 |
| 超寬視場（視場數(shù)26.5） | 倒置 | 三目觀察筒 |
|
| 正像 | 傾斜三目觀察筒 |
| 附件單元 | DUV單元/IR單元/電動載物臺/自動裝載 |
| 外形尺寸 | 710（W）×843（D）×507（H）mm（標(biāo)準(zhǔn)組合） |
| 重量 | 51 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合） |
產(chǎn)品介紹
Olympus MX61L是對應(yīng)300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動型號（反射透射兼用），可以應(yīng)對明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時自動調(diào)節(jié)連動的亮度光圈等，實現(xiàn)了舒適的檢查環(huán)境。配備14×12英寸載物臺，能應(yīng)對大型樣本。
UIS 2物鏡生成鮮明的觀察影像
UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產(chǎn)品陣容，可按照用途選用。另外，波像差控制帶來的高品質(zhì)，忠實于樣本的中性色彩顯示等，UIS2物鏡無論是在目視觀察中還是在數(shù)碼影像觀察中都能發(fā)揮它的卓越性能。
主要操作集中配置在前面板上
在對比度的決定上起重要作用的亮度光圈（AS）的開閉調(diào)節(jié)，與物鏡的切換和觀察模式連動，用***個按鈕就可以操作。此外，用***個手指就可以調(diào)光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和亮度光圈（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開對焦手柄，只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設(shè)計提高了手指尖的感知度，能夠防止錯誤操作。
觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒
為了適應(yīng)視點而調(diào)整座椅的高度，或是以不合理的姿勢進(jìn)行檢查的話會浪費時間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150 mm，SEMI S8對應(yīng)）的傾斜鏡筒，可采取與檢查者體格無關(guān)的舒適觀察姿勢，甚至可以站立檢查。此外，這***款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離，可以在較大的平臺上輕松操作。
安全快速的搬運晶圓
MX61L能與自動晶圓搬送機組合，組合后的尺寸也被設(shè)計得很小。能夠無接觸、安全和快速的執(zhí)行從內(nèi)面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務(wù)。此外，晶圓盒還可以從前面輕松設(shè)置。如果使用選件的遙控器，那么不良晶圓的登錄、開始和保存都可以在手中快速完成。
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快速切換物鏡，提高檢查速度
電動物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機，在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離。
變換物鏡，亮度光圈（AS）也隨之調(diào)節(jié)
每次變換物鏡時都需要調(diào)節(jié)亮度光圈（AS）的話，會影響檢查速度。MX61L對每個物鏡都可以設(shè)置觀察方法和AS（14***），只要切換物鏡就能以***合適的對比度進(jìn)行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時不再需要花時間調(diào)節(jié)AS，提高速度的同時減輕了操作員的疲勞。
高靈敏度載物臺可以迅速決定位置
對應(yīng)300 mm晶圓／17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍（Y方向284 mm）。另外，內(nèi)置離合器的載物臺夾子，可切換粗調(diào)和細(xì)調(diào)。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺，快速完成檢查。
使用數(shù)碼照相機記錄和保存數(shù)碼影像
三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機。可以保存和記錄數(shù)碼影像，幫助創(chuàng)建觀察報告。可依據(jù)用途從圖像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數(shù)碼照相機。
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
