在半導體制造領域，潔凈室的環(huán)境質(zhì)量對產(chǎn)品的性能與良率具有至關重要的影響。其中，氣態(tài)分子污染物（AMC）的監(jiān)控，特別是堿性物質(zhì)MB（如氨、有機胺等）的監(jiān)測，成為確保生產(chǎn)穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量的關鍵。

氣態(tài)分子污染物（Airborne Molecular Contaminant，AMC）是半導體FAB潔凈室重點監(jiān)控之***，根據(jù)其性質(zhì)可以分為酸類（MA）、堿類（MB）、可凝結物質(zhì)（MC）和摻雜物質(zhì)（MD）等。其中，堿性物質(zhì)MB主要組成包括氨、有機胺和酰胺等腐蝕性含氮物質(zhì)，這些物質(zhì)可能與其他酸性物質(zhì) (MA)如SO2在光刻環(huán)境下反應生成鹽類沉積在光學鏡片表面，或者影響光阻劑解析。為了減少MBs對光刻機鏡頭和晶圓良率的負面作用，需要對光刻機內(nèi)空氣及潔凈室空氣中存在的多種堿類物質(zhì)，尤其是氨和有機胺進行精確的長期監(jiān)控。

隨著半導體工藝的發(fā)展，對于AMC中有機胺化合物等關鍵空氣污染物的檢測精度要求已攀升至pg/mL（即ppt）的極高水平。傳統(tǒng)的離子色譜儀（IC）配合電導檢測器，在靈敏度與分離效率上逐漸顯現(xiàn)出局限性，且部分化合物在離子色譜上無法完全分離造成定性定量偏差而影響品控，難以滿足當前高尖端半導體制造業(yè)對于***品控的迫切需求。特別是在FAB潔凈室空氣中有機胺的監(jiān)控方面，傳統(tǒng)方法的不足尤為顯著。

質(zhì)譜儀（MS）具有高靈敏度和依據(jù)離子質(zhì)荷比實現(xiàn)化合物分離的特點，將IC-MS聯(lián)用不僅可以提高有機胺檢測靈敏度，還可以縮短***針樣品運行時間，大大提高樣品檢測通量，為半導體行業(yè)的質(zhì)量控制注入了新的活力。

離子色譜儀：盛瀚D160+

質(zhì)譜儀：SCIEX X500R高分辨系統(tǒng)

標準品：二甲胺、二乙胺、乙醇胺、二乙醇胺和嗎啉

采集環(huán)境空氣樣本后經(jīng)某種前處理方法制成水質(zhì)樣本直接進樣。

X500R QTOF系統(tǒng)的MRMHR掃描模式延續(xù)了SCIEX三重四極桿系列質(zhì)譜的定量黃金標準，靈敏度高，穩(wěn)定性好。五種有機胺的提取離子流圖如圖1。

5種有機胺線性關系良好，回歸系數(shù)r均大于0.997（圖2）。

在空白基質(zhì)中添加0.8 ng/mL的標樣，平行測定六份，考察回收率和相對標準偏差。結果表明回收率在102-115%之間，相對標準偏差均小于2.6%，表明該方法具有良好的準確度及穩(wěn)定性。

本文采用離子色譜串聯(lián)飛行時間質(zhì)譜快速定量分析檢測Class 100潔凈室的環(huán)境空氣中5種有機胺的方法。該方法不僅靈敏度遠優(yōu)于單獨使用離子色譜儀，而且每針樣品的運行時間也大大縮短。IC-MS聯(lián)用技術為半導體潔凈室中有機胺的精確監(jiān)測提供了新的解決方案。該不僅提高了檢測靈敏度和準確性，還縮短了檢測時間，為半導體行業(yè)及環(huán)境監(jiān)測領域有機胺的定量檢測提供參考依據(jù)，也為半導體行業(yè)的生產(chǎn)穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量提供了有力保障。