油擴散泵是利用低壓、高速和定向流動的油蒸氣射流抽氣的真空泵。油擴散泵是獲得高真空的主要設備，廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗和對油污染不敏感的***些真空系統中。

油擴散泵主要由泵體、擴散噴嘴、蒸氣導管、油鍋、加熱器、擴散器、冷卻系統和噴射噴嘴等部分組成。當油擴散泵用前***泵預抽到低于1帕真空時，油鍋開始加熱。沸騰時噴嘴噴出高速的蒸氣流，熱運動的氣體分子擴散到蒸氣流中，與定向運動的油蒸氣分子碰撞。氣體分子因此獲得動量，產生和油蒸氣分子運動方向相同的定向流動。

泵油的蒸氣壓會直接影響泵的真空性能，但油擴散泵所使用的任何泵油，都是蒸氣壓不同的多組分的混合物。因此，要提高油擴散泵的抽氣和真空性能，泵在工作中自身還要對泵油進行分餾和凈化。

分餾的目的是使高蒸氣壓組分的油不進入高真空工作噴嘴；凈化的目的是使高蒸氣壓組分的油在工作過程中不斷為前***泵所抽除，使油逐漸趨于純凈。

調試好的新泵可直接接入真空系統工作。舊泵或長期放置的新泵，在接入真空系統前，應對泵中零件進行清潔處理，并換油。

同時還應注意除去泵芯表面和泵壁上的雜質和各種油污；用丙酮、四氯化碳或干凈汽油擦洗各零體和泵內壁表面，玻璃油擴散泵用重鉻酸鉀洗液清洗，保持周圍環境清潔，無灰塵，然后用熱風吹干；按順序將泵芯裝入泵體內，調整好各***噴嘴間隙，然后按規定數量加足泵油，可根據經驗測量油層深度，***般約1～2cm深即可；檢查加熱電爐的電爐絲是否燒斷、短路，電爐的絕緣性能、保溫性能是否良好；檢查水冷管(或水冷套)是否漏水、堵塞，要求水路暢通，水量充足；將泵接入真空系統，并對系統進行檢漏，要求系統漏氣率在允許范圍內。