PHI 710作為納米尺度的表面分析技術，提供了***高穩定性的 AES 成像平臺。該系統集成了隔聲罩、低噪聲電子系統、穩定的樣品臺和可靠的成像匹配軟件，可實現AES對納米***形貌特征的采譜和成像。此外，PHI 710具有強大的可擴展性，用戶可根據研究需求，靈活配置冷脆斷樣品臺、能量色散X射線能譜(EDS)、聚焦離子束(FIB)、電子背散射衍射(EBSD)和背散射電子(BSE)探測器等功能模塊。這些關鍵配置協同工作，共同賦予了PHI 710掃描俄歇納米探針系統無與倫比的分析能力與靈活性，使其成為材料科學、半導體工業等領域不可或缺的高端分析設備。